Уникальная установка для печати микрочипов

«Резиденты ОЭЗ Москвы участвуют в проекте по созданию технологии и разработке установки-литографа – уникального оборудования для производства микросхем. Научные работы по проекту проходят на базе НИУ МИЭТ при участии Зеленоградской компании – резидента столичного технополиса. Производственные мощности кластера микроэлектроники столичной ОЭЗ будут задействованы для изготовления необходимых проекту образцов», – сказал Владислав Овчинский.

Установка сможет использоваться для производства чипов топологических размеров от 28 нанометров и ниже на базе российских синхротронов и плазменных источников излучения. Ученые МИЭТ в кооперации с резидентами ОЭЗ Москвы сегодня изучают возможность реализации технологии.

По словам проректора по научной работе МИЭТ Сергея Гаврилова, если эта работа завершится успешно, за ней последует опытно-конструкторский проект по созданию литографической установки.

«Резиденты ОЭЗ Москвы вносят значительный вклад в отечественную инноватику и микроэлектронную промышленность. Так, в проект уже вложено более 300 млн руб. Очередной шаг в этом направлении – участие в создании уникального литографа для печати чипов. Эта работа в кооперации с университетом МИЭТ позволит усилить компетенции и являться важным шагом технологического развития для микроэлектроники России», – отметил генеральный директор ОЭЗ «Технополис Москва» Геннадий Дегтев.

Источник: CNews